Исследование свойств плазмы импульсного диффузного и ВЧ разрядов в атмосфере фторсодержащих газов
Даты документов: 1981 – 1981
Тип документов: НТД (научно-техническая документация)
Количество листов: 49
Даты документов: 1981 – 1981
Тип документов: НТД (научно-техническая документация)
Количество листов: 49