Фундаментальные физико-технологические исследования по физике твердого тела с целью создания устройств микроэлектроники
Даты документов: 1991 – 1991
Тип документов: НТД (научно-техническая документация)
Количество листов: 26
Даты документов: 1991 – 1991
Тип документов: НТД (научно-техническая документация)
Количество листов: 26